半導体の微細化を継続していくための材料工学 第3回 パターンばらつきの解決は先端ロジックのさらなるスケーリングに不可欠

前回までに、ロジックトランジスタと配線スケーリングの課題を探ってきたが、今回はロジックセルのレイアウ...


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