日立ハイテク、IoT・車載半導体向けに暗視野式ウェハ欠陥検査装置を発売

日立ハイテクは6月2日、半導体デバイスの欠陥検査に必要な暗視野式ウェハ欠陥検査装置「DI2800」を...

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